Μέρη τιτανίου για ημιαγωγούς

1. Εξαιρετικά-έλεγχος απελευθέρωσης ακαθαρσιών

Υιοθετούμε ένα πρόγραμμα επεξεργασίας κεραμικών εργαλείων + εργαλείων-χωρίς σίδηρο σε όλη τη διαδικασία παραγωγής. Όλα τα βοηθητικά υλικά που έρχονται σε επαφή με το προς κατεργασία τεμάχιο υποβάλλονται σε τρεις γύρους καθαρισμού με έκπλυση με οξύ, ελέγχοντας αυστηρά τη συνολική περιεκτικότητα σε σίδηρο, χρώμιο κ.λπ. να είναι εντός 0,02%. Αυτό αποφεύγει πλήρως το κοινό πρόβλημα μόλυνσης με μεταλλικά ιόντα στις διεργασίες ημιαγωγών και αποτρέπει το σχηματισμό υπερβολικών υπολειμμάτων μετάλλων στην επιφάνεια του πλακιδίου. Μειώνει τον κίνδυνο βραχυκυκλώματος από την πλευρά του υλικού.

 

2. Μακροπρόθεσμη-αντοχή στη διάβρωση

Αφού σχηματιστεί το τμήμα, θα υποβληθεί σε δύο διαφορετικές συγκεντρώσεις βύθισης ασθενούς οξειδωτικού διαλύματος για παθητικοποίηση. Ένα ομοιόμορφο προστατευτικό φιλμ διοξειδίου του τιτανίου πάχους 8-10 nm θα δημιουργηθεί στην επιφάνεια. Ακόμη και όταν εκτίθεται σε αραιωμένα διαλύματα υδροφθορικού οξέος και μικτού νιτρικού οξέος στη διαδικασία καθαρισμού ημιαγωγών για 2000 ώρες συνεχόμενα, δεν θα υπάρχει αποκόλληση κουκκίδων και δεν θα υπάρχουν υπολείμματα που γρατσουνίζουν την επιφάνεια του πλακιδίου.

 

3. Υψηλή-σταθερότητα διαστάσεων

Κατά τη διάρκεια της επεξεργασίας, ολόκληρη η διαδικασία χρησιμοποιεί ψεκασμό υγρού αζώτου για σταθερό έλεγχο θερμοκρασίας, ελέγχοντας την παραμόρφωση που δημιουργείται κατά την επεξεργασία εντός 0,003 mm. Πριν φύγουν από το εργοστάσιο, τα τελικά προϊόντα υποβάλλονται σε 24ωρες δοκιμές κύκλου υψηλής και χαμηλής θερμοκρασίας. Ακόμη και όταν λειτουργεί σε περιβάλλον διεργασίας ημιαγωγών στις 180 μοίρες για μεγάλο χρονικό διάστημα, δεν θα υπάρχει εμπλοκή παραμόρφωσης και καμία παραμόρφωση. Δεν χρειάζεται να αποσυναρμολογείτε συχνά και να προσαρμόζετε την ακρίβεια ευθυγράμμισης.

 

4. Χαμηλός ρυθμός εξάτμισης κατάλληλος για περιβάλλον κενού

Όλα τα μέρη υποβάλλονται πρώτα σε ψήσιμο 120 μοιρών υπό κενό για 48 ώρες για επεξεργασία απαέρωσης. Οι υδρατμοί και τα μικροσκοπικά σωματίδια που έχουν προσροφηθεί στην επιφάνεια αφαιρούνται εντελώς. Αφού εγκατασταθεί στον θάλαμο κενού ημιαγωγών, μπορεί να βοηθήσει τον εξοπλισμό να φτάσει στον στόχο κενού κατά 25% γρηγορότερα από τη χρήση συνηθισμένων εξαρτημάτων από ανοξείδωτο χάλυβα, μειώνοντας την απώλεια χρόνου αναμονής για άντληση κενού.

1. Δίσκος γκοφρέτας για μηχανή εναπόθεσης ατμών PVD

Χρησιμοποιείται για τη στήριξη της γκοφρέτας πυριτίου που πρόκειται να επικαλυφθεί. Στο περιβάλλον υψηλής θερμοκρασίας του υλικού στόχου, το τμήμα τιτανίου δεν θα αντιδράσει με το αέριο εκτόξευσης και δεν θα απελευθερώσει υπερβολικές ακαθαρσίες στο θάλαμο, γεγονός που μπορεί να βελτιώσει την ομοιομορφία του στρώματος μεταλλικού φιλμ που εναποτίθεται στην επιφάνεια του πλακιδίου κατά 5%, αποφεύγοντας το πρόβλημα της διαρροής τσιπ που προκαλείται από ανεπαρκές πάχος μεταλλικού στρώματος. Είναι κατάλληλο για απαιτήσεις παραγωγής επίστρωσης 28nm και κάτω από διαδικασίες.

 

2. Σχάρα μεταφοράς γκοφρέτας για μηχανή υγρού καθαρισμού

Στην τυπική διαδικασία καθαρισμού RCA, η σχάρα είναι πλήρως βυθισμένη σε διαλύματα καθαρισμού ισχυρού οξέος και ισχυρών αλκαλίων. Το υλικό τιτανίου δεν θα διαβρωθεί και δεν θα παράγει συντρίμμια και δεν θα προσκολληθεί στην επιφάνεια του πλακιδίου για να προκαλέσει μόλυνση από σωματίδια. Μπορεί να μειώσει το ποσοστό ελαττωμάτων σωματιδίων του καθαρισμού πλακιδίων μιας παρτίδας κατά 12%. Ταυτόχρονα, το ελαφρύ χαρακτηριστικό της σχάρας μπορεί επίσης να μειώσει το φορτίο μετάδοσης της μηχανής καθαρισμού και να μειώσει την κατανάλωση ενέργειας του εξοπλισμού.

 

3. Κάθισμα στερέωσης ηλεκτροδίου για μηχανή εμφύτευσης ιόντων

Χρησιμοποιείται για τη στερέωση των ηλεκτροδίων υψηλής τάσης-στο μηχάνημα. Η μη μαγνητική ιδιότητα του τιτανίου δεν θα επηρεάσει την τροχιά της δέσμης ιόντων, επιτρέποντας τον έλεγχο της απόκλισης του βάθους της εμφύτευσης ιόντων σε ένα πολύ μικρό εύρος, αποφεύγοντας το πρόβλημα της ανομοιόμορφης δόσης έγχυσης στην τοπική περιοχή του πλακιδίου. Βελτιώνει σημαντικά τη συνοχή της ηλεκτρικής απόδοσης του τσιπ.

 

4. Φλάντζα σύνδεσης για αγωγό κενού ημιαγωγών

Σύνδεση διαφορετικών τμημάτων του αγωγού κενού της μηχανής. Ο χαμηλός ρυθμός εξάτμισης τιτανίου μπορεί να διατηρήσει ένα υψηλό-καθαρό περιβάλλον κενού μέσα στον αγωγό και δεν θα προκαλέσει διακυμάνσεις στο βαθμό κενού λόγω της απελευθέρωσης αερίου των συνηθισμένων φλαντζών από ανοξείδωτο χάλυβα μετά από μακροχρόνια χρήση. Μειώνει τον αριθμό των συναγερμών διακοπής λειτουργίας του μηχανήματος που προκαλούνται από ανωμαλίες κενού και αυξάνει τον χρόνο συνεχούς λειτουργίας της γραμμής παραγωγής κατά 30%.

1. Προσαρμογή μη τυπικών διαστάσεων

Βασιζόμενοι στο δικό μας κέντρο κατεργασίας 5 αξόνων, το μήκος, το πλάτος και το ύψος των εξαρτημάτων μπορούν να ρυθμιστούν ανάλογα με τον χώρο εγκατάστασης του υπάρχοντος εξοπλισμού ημιαγωγών του πελάτη. Δεν χρειάζεται ο πελάτης να τροποποιήσει τη διεπαφή εξοπλισμού και το πρώτο δείγμα μπορεί να παραδοθεί εντός 7 ημερών.

 

2. Προσαρμογή της κατάστασης επιφάνειας

Δύο μέθοδοι επιφανειακής επεξεργασίας μπορούν να επιλεγούν ανάλογα με τη ζήτηση: γυάλισμα καθρέφτη και ματ αμμοβολή. Είναι κατάλληλα για διαφορετικές απαιτήσεις καθαριότητας της διαδικασίας κατασκευής και μπορούν να αποφύγουν την πρόσφυση σωματιδίων που επηρεάζει το περιβάλλον παραγωγής ημιαγωγών.

 

3. Προσαρμογή ειδικών διεπαφών

Ειδικές δομές, όπως ειδικές υποδοχές καρτών και οπές τοποθέτησης μπορούν να προσαρμοστούν ώστε να ταιριάζουν πλήρως με τις απαιτήσεις συναρμολόγησης του εξοπλισμού που έχει αναπτύξει ο ίδιος ο πελάτης-. Δεν χρειάζεται να προστεθούν επιπλέον εξαρτήματα προσαρμογέα.

Είδος	Προσδιορισμός
Όνομα προϊόντος	Ανταλλακτικά τιτανίου για ημιαγωγούς
Υλικό	Καθαρό τιτάνιο (Βαθμός 2), κράμα τιτανίου (Βαθμός 5 Ti-6Al-4V)
Διαδικασία Παραγωγής	CNC Μηχανική, Τόρνευση, Φρέζα, Λείανση, Συγκόλληση
Διαθέσιμα σχήματα	Πλάκα, δαχτυλίδι, σωλήνας, ράβδος, μπλοκ, προσαρμοσμένα εξαρτήματα
Διαστάσεις	Προσαρμοσμένο σύμφωνα με σχέδια ή δείγματα
Ανοχή	Έως ±0,01 χλστ
Φινίρισμα επιφάνειας	Γυαλισμένο, αμμοβολή, τουρσί, ανοδιωμένο, μηχανική επεξεργασία ακριβείας
Επιφανειακή τραχύτητα	Ra 0,2–1,6 μm (προσαρμοσμένο διαθέσιμο)
Καθαρότητα	Έως 99,6% (Τιτάνιο βαθμού 2)
Θερμοκρασία λειτουργίας	Έως 400 μοίρες
Πυκνότητα	4,51 g/cm³
Σκληρότητα	Βαθμός 2: HB 145–200; Βαθμός 5: HRC 30–36
Αντοχή στη διάβρωση	Εξαιρετική αντοχή σε οξέα, αλκάλια και χημικές διεργασίες
Χημική συμβατότητα	Κατάλληλο για χημικά ημιαγωγών και περιβάλλοντα εξαιρετικά-υψηλής καθαρότητας
Επιθεώρηση	Επιθεώρηση διαστάσεων, Πιστοποίηση Υλικού, Επιφάνεια Επιθεώρησης

 

 

 

Δημοφιλείς Ετικέτες: ανταλλακτικά τιτανίου για ημιαγωγούς, Κίνα εξαρτήματα τιτανίου για κατασκευαστές ημιαγωγών, προμηθευτές, εργοστάσιο